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PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統

PicoFemto NI-100 SEM納米力測量將納米壓痕儀集成進掃描電鏡中,使用戶可以在掃描電鏡中進行原位納米壓痕研究。SEM納米力測量系統價格請咨詢18817557412(微信同號)

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    PicoFemto NI-100 SEM納米力測量將納米壓痕儀集成進掃描電鏡中,使用戶可以在掃描電鏡中進行原位納米壓痕研究。該系統由一個三維壓電驅動的樣品臺和一個納米力測量探針組成。樣品安裝方式靈活多樣,可在三維納米位移臺的驅動下,達到超過5 mm的準確定位,定位分辨率優于100 nm,以使待測量區域準確對準力探針。

    力探針同樣由壓電驅動,在軸向達到100 um的伸縮長度,位移分辨率優于0.25mm。由力傳感器準確測量所施加的力的載荷,可測拉力和壓力。并有不同的大量程的力傳感器可選配,達到很好的測量效果。通過搭配電學、光學、加熱等模塊,該產品還可以實現包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場耦合研究。

    PicoFemto NI-100 SEM納米力測量系統基本技術參數表

    技術參數表


    技術參數表

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