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全自動臺階儀 JS3000B

全自動臺階儀 JS3000B 國產(chǎn)全自動臺階儀 JS3000B,擁有高精度、高分解能力,搭配一體花崗巖結(jié)構,提供穩(wěn)定可靠的重復性測量。JS2000B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像,可無畸變的觀察樣品區(qū),方便定位特征區(qū)域,同時探針掃描時可實時觀察掃描區(qū)域。

服務電話:400-966-2800
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    國產(chǎn)全自動臺階儀 JS3000B,擁有高精度、高分解能力,搭配一體花崗巖結(jié)構,提供穩(wěn)定可靠的重復性測量。JS2000B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像,可無畸變的觀察樣品區(qū),方便定位特征區(qū)域,同時探針掃描時可實時觀察掃描區(qū)域。 

    特點

    量測精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設計、售后便捷、極高性價比

    應用范圍

    ▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

    ▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量

    ▲ 各式薄膜等應力測量

    ▲ 3D掃描成像

    ▲ 計劃任務和多點掃描

    ▲ 批量測試晶圓,批量處理數(shù)據(jù)等

    系統(tǒng)組成

    ▲ EFEM(LP+ROBOT+ALINGER)

    ▲ JS300B

    選配品

    ▲ 高度校準標樣

    ▲ FFU模塊

    ▲ 靜電消除模塊

    ▲ E84接口

    技術參數(shù)

    技術參數(shù)

    軟件界面

    軟件界面

    掃描圖

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    18nm樣品

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    68um樣品

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