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掃描電鏡（SEM）樣品表面太粗糙會明顯影響成像質(zhì)量。以下是其具體影響及原因：

一、成像分辨率下降

粗糙表面會導(dǎo)致電子束入射角度變化劇烈，造成：

二次電子信號發(fā)散不均，圖像模糊；

邊緣增強過度，失真嚴重；

難以分辨細微結(jié)構(gòu)或微小缺陷。

二、聚焦困難

由于樣品高度起伏不平，電子束很難在整塊區(qū)域內(nèi)統(tǒng)一聚焦，造成：

圖像部分清晰、部分模糊；

放大倍率越高，焦深越淺，問題越明顯。

三、電荷積累嚴重（非導(dǎo)體）

粗糙表面增加絕緣區(qū)域表面積，容易出現(xiàn)：

局部帶電不均；

圖像漂移、閃爍、出現(xiàn)亮斑或黑影；

必須噴鍍導(dǎo)電層或降低加速電壓緩解。

四、能譜分析不準

進行能譜（EDS）分析時，粗糙表面會：

改變電子束入射角和出射角；

引起X 射線信號偏移或誤差增加；

影響元素分布圖（Mapping）精度。

五、樣品遮擋與陰影效應(yīng)

表面高度差較大時，電子束會被凸起部分遮擋：

導(dǎo)致深坑、裂紋底部無法成像；

出現(xiàn)“陰影區(qū)”，圖像對比不均勻。