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在掃描電鏡（SEM）成像過(guò)程中，圖像邊緣出現(xiàn)像差，常見(jiàn)表現(xiàn)包括模糊、拉伸、畸變或亮度不均，主要是由于電子束聚焦性能在邊緣區(qū)域變差導(dǎo)致的。下面是詳細(xì)原因解釋：

一、圖像邊緣出現(xiàn)像差的主要原因

1. 電子光學(xué)像差（主要原因）

掃描電鏡中的聚光透鏡和物鏡無(wú)法對(duì)所有區(qū)域電子束實(shí)現(xiàn)理想聚焦，尤其在圖像中心以外區(qū)域（邊緣）像差顯著增加；

包括：

球差：束線距離軸線越遠(yuǎn)，焦點(diǎn)越偏離；

彗差：束線非對(duì)稱分布造成圖像邊緣拖尾；

場(chǎng)曲像差：焦面為曲面，圖像邊緣處于焦外區(qū)域而模糊。

2. 工作距離設(shè)置不合理

若工作距離設(shè)置過(guò)短或過(guò)長(zhǎng)，電子束在邊緣區(qū)域聚焦性能下降；

特別是在低放大倍率下，視野大，邊緣更容易脫焦。

3. 掃描區(qū)域太大

當(dāng)觀察面積較大，尤其使用大視野或廣角探測(cè)模式時(shí)，邊緣區(qū)域離光軸遠(yuǎn)，電子束發(fā)生偏斜，像差增強(qiáng)；

電子束在邊緣“傾斜入射”，導(dǎo)致畸變。

4. 樣品不平整或傾斜

樣品表面不平或傾斜，導(dǎo)致圖像不同區(qū)域距離電子槍高度不一；

中央清晰但邊緣偏離焦點(diǎn)，出現(xiàn)模糊或亮度變化。

5. 電荷積聚或邊緣放電

如果樣品為非導(dǎo)體，且未噴鍍金屬，邊緣區(qū)域更容易積累電荷或局部放電，干擾電子束，導(dǎo)致邊緣圖像扭曲或模糊。

6. 像差校正未啟用或誤差補(bǔ)償不全

某些SEM 配備電子像差校正系統(tǒng)（如 Cs 校正）；

若未校正或失調(diào)，也容易在邊緣造成圖像質(zhì)量下降。