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在掃描電鏡（SEM）中減少樣品的電子束損傷可以通過以下幾種方法實現(xiàn)：

降低加速電壓：

使用較低的加速電壓：降低電子束的加速電壓可以減少電子束對樣品的穿透深度和能量，從而降低樣品的電子束損傷。雖然這可能會降低分辨率，但對于易損樣品來說，這是一種有效的方法。

優(yōu)化束流密度：

減少束流強度：通過降低電子束的束流密度（電流），可以減少電子束對樣品的總能量，從而減小樣品的損傷。

調整掃描速度：

提高掃描速度：增加掃描速度可以縮短電子束在樣品上的曝光時間，從而減少樣品的電子束損傷。

使用低劑量成像：

優(yōu)化劑量：在成像時使用低劑量的電子束可以減少對樣品的輻射損傷。選擇合適的劑量，以獲取清晰圖像而不損傷樣品。

冷卻樣品：

使用低溫：某些掃描電鏡配有冷卻裝置，能夠將樣品冷卻至低溫。這可以減緩樣品的電子束損傷，因為低溫下樣品的化學反應和物理變化較慢。

使用環(huán)境掃描電鏡（ESEM）：

在氣體環(huán)境下觀察：環(huán)境掃描電鏡可以在較高的壓力下操作，氣體環(huán)境可以降低電子束對樣品的損傷，并適用于一些對空氣敏感的樣品。

使用更高的真空度：

保持高真空：確保掃描電鏡的真空系統(tǒng)保持在高真空狀態(tài)，以減少電子束與樣品之間的氣體分子相互作用，從而降低損傷。

選擇合適的樣品準備方法：

導電涂層：對于非導電樣品，鍍上導電涂層可以減小靜電效應和電子束的損傷。

樣品形狀和厚度：優(yōu)化樣品的形狀和厚度，以減少電子束對樣品的損傷。例如，樣品的厚度應適合于電子束的穿透深度。

實時監(jiān)控和控制：

監(jiān)控樣品狀態(tài)：實時監(jiān)控樣品的狀態(tài)，可以幫助在發(fā)現(xiàn)損傷的早期階段做出調整。根據(jù)實時反饋，調整電子束的參數(shù)。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中減少樣品的電子束損傷。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢