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掃描電子顯微鏡（SEM）的操作流程通常包括以下步驟：

準(zhǔn)備樣品：

樣品制備：將待觀察的樣品制備成適當(dāng)?shù)男螤詈痛笮。⒋_保其表面光滑、干凈。

導(dǎo)電處理：對非導(dǎo)電性樣品進(jìn)行導(dǎo)電處理，以避免電荷積聚影響成像質(zhì)量。

安裝樣品：

安裝樣品支架：將樣品放置在樣品支架上，并使用導(dǎo)電膠或夾具將其固定在位置上。

調(diào)整樣品位置：調(diào)整樣品位置和角度，使其處于高質(zhì)量成像位置，并確保與電子束的路徑正交。

真空抽氣：

打開真空系統(tǒng)：啟動掃描電鏡，并打開真空系統(tǒng)，開始真空抽氣。

穩(wěn)定真空度：等待真空度穩(wěn)定達(dá)到工作要求，通常在高真空狀態(tài)下工作。

調(diào)節(jié)參數(shù)：

設(shè)置加速電壓：根據(jù)樣品性質(zhì)和所需分辨率，設(shè)置合適的加速電壓。

調(diào)節(jié)工作距離：調(diào)節(jié)電子槍和樣品之間的工作距離，以保持適當(dāng)?shù)某上駰l件。

選擇探針尺寸：根據(jù)需要選擇合適的探針尺寸，以平衡分辨率和信號強(qiáng)度。

對焦和對準(zhǔn)：

對焦樣品：使用透射電鏡或圖像對焦功能，調(diào)整電子束的焦點，使其聚焦在樣品表面。

對準(zhǔn)樣品：通過微調(diào)樣品位置和角度，確保電子束垂直撞擊樣品表面。

開始成像：

啟動成像程序：選擇成像模式和參數(shù)，并啟動成像程序，開始獲取圖像。

捕獲圖像：根據(jù)需要調(diào)整掃描速度和圖像質(zhì)量，捕獲樣品表面的圖像。

分析和保存：

圖像分析：對獲取的圖像進(jìn)行分析和處理，測量尺寸、形狀，分析表面形貌等。

結(jié)果保存：根據(jù)需要保存圖像和分析結(jié)果，并記錄相關(guān)參數(shù)和觀察條件。

關(guān)閉設(shè)備：

關(guān)閉成像程序：完成成像任務(wù)后，關(guān)閉成像程序并停止電子束。

關(guān)閉真空系統(tǒng)：關(guān)閉真空系統(tǒng)，并按照操作規(guī)程安全關(guān)閉設(shè)備。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡的操作流程。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢