掃描電子顯微鏡是否能夠成像非導(dǎo)電樣品？
日期：2023-12-06
掃描電鏡（SEM）通常可以成像非導(dǎo)電樣品。相較于傳統(tǒng)的透射電子顯微鏡，SEM對(duì)于樣品的導(dǎo)電性要求較低。
在SEM中，樣品通常需要涂覆一層薄的導(dǎo)電性金屬膜（例如金屬薄膜），以提高樣品表面的導(dǎo)電性。這是因?yàn)镾EM工作時(shí)需要通過(guò)樣品表面的電子散射來(lái)形成圖像，而導(dǎo)電性有助于避免電荷積累和電荷漂移，確保圖像的清晰度。
然而，對(duì)于一些本身具有一定導(dǎo)電性的樣品或者無(wú)法進(jìn)行金屬薄膜涂覆的樣品，也可以通過(guò)調(diào)整SEM的工作條件來(lái)進(jìn)行成像。例如，可以使用低電子束能量和適當(dāng)?shù)奶綔y(cè)器配置，以減小對(duì)非導(dǎo)電樣品的表面電荷影響，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)非導(dǎo)電樣品的成像。
一些掃描電鏡設(shè)備還配備了特殊的探測(cè)器和樣品臺(tái)，以增強(qiáng)對(duì)非導(dǎo)電樣品的成像能力。這些技術(shù)的發(fā)展使得SEM在成像各種類型的樣品時(shí)更加靈活和可行。
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作者：澤攸科技