樣品桿在掃描電鏡中的工作原理
日期：2023-08-07
樣品桿在掃描電鏡（SEM）中是用于操縱樣品位置和角度的裝置，使得樣品可以被電子束掃描并獲取高分辨率的圖像。樣品桿的工作原理基于準確的位置控制和角度調整，以及對樣品與電子束之間相互作用的影響。
以下是樣品桿在掃描電鏡中的工作原理：
位置控制： 樣品桿通過電動機、驅動裝置或手動控制元件（如旋鈕）來實現位置的調整。電動樣品桿通過準確的位置編碼器和控制電路，可以將樣品移動到準確的位置，使得電子束可以在所需區域進行掃描。
角度調整： 樣品桿還可以通過機械結構或電動方式調整樣品的角度。這對于觀察不同角度下的樣品特性或進行特定角度的分析非常有用。
電子束和樣品的相互作用： 樣品桿的調整使得樣品可以與電子束相互作用。電子束通過樣品的不同區域，與樣品的表面原子相互作用，產生次級電子（SE）和反向散射電子（BSE）等信號。這些信號被探測器捕獲并用于生成圖像和分析。
自動化和預設位置： 一些掃描電鏡系統允許用戶預設多個位置和角度，實現自動掃描、成像和分析。樣品桿可以在不同位置之間自動切換，從而實現多個位置的高分辨率成像。
導電涂層： 為了減少樣品表面的電荷積累，一些樣品桿可能需要導電涂層或導電夾具，以便提供電子束的導電通路。
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作者：澤攸科技
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