掃描電鏡如何保養(yǎng)？

掃描電鏡?是一種非常精密的儀器，需要進(jìn)行定期的保養(yǎng)和維護(hù)，以確保其長(zhǎng)期穩(wěn)定的工作和高質(zhì)量的成像效果。以下是一些常見的掃描電鏡保養(yǎng)方法：

2023澤攸精選自研科學(xué)儀器清單

澤攸自研國(guó)產(chǎn)科學(xué)儀器：臺(tái)式SEM、原位電鏡系統(tǒng)，STM，臺(tái)階儀，PECVD，二維材料轉(zhuǎn)移臺(tái)

三月一日至三日，澤攸科技攜完全自主研制的材料表征測(cè)量及半導(dǎo)體加工設(shè)備，應(yīng)邀出席第十三屆國(guó)際納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)（以下簡(jiǎn)稱納博會(huì)）。

掃描電鏡SEM可以通過(guò)能譜儀（EDS）來(lái)對(duì)樣品的成分進(jìn)行分析。EDS是一種通過(guò)測(cè)量樣品表面上散射的X射線來(lái)確定樣品中元素組成的技術(shù)。

掃描電鏡SEM可以用來(lái)觀察和分析各種材料的表面形貌和微結(jié)構(gòu)。那么掃描電鏡可以分析什么呢？

掃描電鏡通過(guò)高能電子與樣品間的相互作用而成像。掃描電鏡中的電子槍會(huì)發(fā)射出高能電子束，并且這個(gè)電子束被聚焦成一個(gè)非常小的束斑，然后通過(guò)掃描樣品表面來(lái)獲取信號(hào)。

掃描電鏡是一種利用高能電子束與樣品相互作用，產(chǎn)生反射、透射、散射等信號(hào)，通過(guò)信號(hào)的捕捉與分析，獲取樣品表面形貌、成分和結(jié)構(gòu)等信息的儀器。它的結(jié)構(gòu)組成包括以下幾個(gè)主要部分：

掃描電鏡電子槍的基本工作原理是通過(guò)加熱陰極發(fā)射出電子，然后利用加速電場(chǎng)將電子加速到較高的能量水平，最后通過(guò)電磁透鏡系統(tǒng)將電子聚焦成細(xì)小的電子束。