掃描電鏡的空間分辨率如何測定？

掃描電鏡（SEM）的空間分辨率通常通過以下幾種方法進行測定：

使用掃描電鏡進行納米級觀察時需要注意哪些因素？

使用掃描電子顯微鏡（SEM）進行納米級觀察時，需要特別注意以下幾個關鍵因素，以確保高分辨率成像、準確分析，并減少可能的誤差或偽影。

要提高掃描電子顯微鏡（SEM）的成像速度，同時保持較高的分辨率，需要綜合優化電子束參數、掃描方式、探測器設置和信號處理。

在掃描電鏡（SEM）成像過程中，漂移會導致圖像模糊、細節丟失，特別是在高倍率和長曝光時間下尤為明顯。

普通的掃描電子顯微鏡（SEM）不能直接觀察濕樣品，因為 SEM 需要高真空環境來防止電子束散射，而濕樣品中的水分在真空中會迅速蒸發，導致樣品形態變化甚至損壞。

在掃描電鏡（SEM）成像過程中，非導電樣品容易產生充電效應，導致圖像模糊、亮度不均、漂移或偽影。

優化掃描電鏡（SEM）的曝光時間需要在信噪比（SNR）、分辨率、樣品損傷和成像時間之間取得平衡。

掃描電鏡（SEM）光束偏移會導致成像不清晰、分辨率下降、甚至樣品漂移。